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非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀產品用途：
非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀是一種優良且具有成本效益的涂膜機，用于研發非導電材料薄膜。
非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀技術規格：
項目
明細
產品型號
CY-MSH300-III-DCDCRF-SS
供電電壓
AC220V，50Hz
整機功率
6KW
系統真空
≦5×10-4Pa
樣品臺
外形尺寸
φ185mm
加熱溫度
≦500℃
控溫精度
±1℃
可調轉速
≦20rpm
磁控靶槍
靶材尺寸
直徑Φ50.8mm，厚度≦3mm
冷卻模式
循環水冷
水流大小
不小于10L/Min
真空腔體
腔體尺寸
直徑φ300mm，高度500mm
腔體材質
SUU304不銹鋼
觀察窗口
直徑φ100mm
開啟方式
頂開式
氣體控制
1路質量流量計用于控制Ar流量，量程為:200SCCM
真空系統
配分子泵系統1套，氣體抽速600L/S
膜厚測量
可選配石英晶體膜厚儀，分辨率0.10 ?
濺射電源
直流電源500W*2,射頻電源500W
控制系統
CYKY自研專業級控制系統
設備尺寸
600mm
× 650mm × 1280mm
設備重量
350kg
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