- 磁控濺射鍍膜儀
- 熱蒸發鍍膜儀
- 高溫熔煉爐
- 等離子鍍膜儀
- 可編程勻膠機
- 涂布機
- 等離子清洗機
- 放電等離子燒結爐
- 靜電紡絲
- 金剛石切割機
- 快速退火爐
- 晶體生長爐
- 真空管式爐
- 旋轉管式爐
- PECVD氣相沉積系統
- 熱解噴涂
- 提拉涂膜機
- 二合一鍍膜儀
- 多弧離子鍍膜儀
- 電子束，激光鍍膜儀
- CVD氣相沉積系統
- 立式管式爐
- 1200管式爐
- 高溫真空爐
- 氧化鋯燒結爐
- 高溫箱式爐
- 箱式氣氛爐
- 高溫高壓爐
- 石墨烯制備
- 區域提純爐
- 微波燒結爐
- 粉末壓片機
- 真空手套箱
- 真空熱壓機
- 培育鉆石
- 二硫化鉬制備
- 高性能真空泵
- 質量流量計
- 真空法蘭
- 混料機設備
- UV光固機
- 注射泵
- 氣體分析儀
- 電池制備
- 超硬刀具焊接爐
- 環境模擬試驗設備
- 實驗室產品配件
- 實驗室鍍膜耗材
- 其他產品
緊湊型紫外線臭氧清洗機采用不需要任何溶劑的干式清洗技術，對清洗表面沒有損傷。采用大功率低壓石英汞燈，產生波長185nm和254nm的紫外線，185nm的光可以將氧分子O2轉變成活性的臭氧分子O3，254nm的光同時激發清洗表面的有機分子，使其更容易被臭氧分子吸收并分解。由于臭氧分子存在時間短，且同時也被254nm的光分解，因此可調節樣品臺到燈管的距離來優化性能。
緊湊型紫外線臭氧清洗機技術參數：
|
輸入功率 |
AC 110V or AC 208~240V( 可選的) |
|
紫外燈 |
? 固體金屬雙波汞燈 ? 紫外燈功率：zui大55W。 ? 波長：254nm和185nm ? 紫外燈使用壽命：2500小時 ? 紫外線照射面積：100×100 mm（4”×4”） ? 峰值紫外線強度：4.6毫瓦/平方厘米。 |
|
腔室和樣品臺 |
? 外形尺寸：9 1/2”×7 7/8”×6” ? 抽屜尺寸：5 1/4”×5 1/4”×1” ? 抽屜到燈的距離：1 1/16“ ? 從基座到燈的距離：5/16“ ? 硼硅酸鹽玻璃基座：4”×4”×3/4” ? 18號鋼制底盤和蓋板，粉末涂層 ? 總重量：9磅 |
|
合規 |
CE認證 |
|
保證 |
一年有限保修，終身支持(耐熱玻璃室不保修) |
|
環境要求 |
? 只在室內使用;海拔高度可達5,562英尺; ? 溫度范圍41-104華氏度; ? zui高相對濕度80％，高達87 華氏度線性降低至50％相對濕度，華氏104度; ? 主電源波動不超過額定電壓的10％;過壓類別II; ? 污染等級2;臭氧水平（環境）測量<45 ppb。 |
|
Application |
? 清潔SPT，AFM**和表面的分子污染 ? 固化UV-粘合劑 ? SAM表面的紫外光圖案化 ? 氧化PDMS ? 蝕刻，圖案，銳化 ? 清潔MEMS器件 ? 清潔襯底表面，如Si，Ge，GaAs和所有氧化物晶體襯底 |
