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8.5"實驗室等離子清洗機配有一個直連式雙旋真空泵，可對腔體進行抽真空，同時通入氬氣等保護氣體，適用于對易氧化的物品的清洗。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。在單晶材料外延薄膜生長以前對其進行預處理，將對生長具有顯著的作用。
8.5"實驗室等離子清洗機技術參數(shù)：
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輸入功率 |
? AC 220V , 50/60 Hz, ? 射頻功率：80 W Max.（標準） ? 真空泵：正常550W,啟動750W ? 總功率：830W max. ? 工作電流≤3A |
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射頻功率 |
? 射頻功率可在0-80W范圍內調節(jié) ? 射頻：13,56 MH ? 可選：可根據(jù)要求提供300 W射頻電源，需額外收費 |
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等離子室 |
? 8.5" O.D×8.2" I.D×14" L高純度石英室 ? 體積: 12 L ? 鉸鏈式前法蘭由鋁制成 ? 2.3”直徑（60mm）石英窗口，便于觀察 ? 完全屏蔽RF輻射，零RF泄漏 |
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控制面板 |
? 6”彩色觸摸屏，可自動控制所有參數(shù)，用于等離子清潔，如真空度，氣體流速，RF功率水平和清潔時間。 ? 內置一個通道質量流量計（0-500ml /分鐘），控制氣體流量+/- 0.5 ml / m |
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真空泵和閥門 |
? 包含排氣過濾器，KF25D適配器和夾具的240 L / m重型旋片式真空泵可立即使用 ? *終總壓力為50 mTorr |
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惰性氣體 |
? 可以選擇許多惰性氣體進行等離子體清潔，如N2，Ar，空氣和混合氣體，取決于將要處理的材料類型。（不包括在包裝內） ? 等離子清潔器不得使用易燃氣體 |
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總體尺寸 |
620 L×600 W×600 H, mm |
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保證 |
一年有限保修，終身支持(耐熱玻璃室無保修) |
