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緊湊型等離子清洗機主要特點：
1.使用各種氣體清洗和去除晶片上的納米級有機污染物，至多可容納2"。
2.涂層前預清洗單晶基板的優良工具，可獲得更好的薄膜質量。
3.鉸鏈式門，便于樣品裝載。
4.3"直徑石英腔室，適用于清潔2”晶圓，可選配石英舟。
5.石英室內的可移動石英管易于清潔和更換。
緊湊型等離子清洗機技術參數：
主要部件
指標名稱
參數指標
清洗倉體
清洗倉材質
高純石英
清洗倉尺寸
直徑120mm;長度280mm
射頻電源
電源特性
該電源為全固態射頻電源，采用高穩定高可靠的功放模塊和直流模塊，有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質量的電子元器件，使產品的可靠性得以保證。
電源優勢
● 可長時間正常運行
● 電源效率高、發熱少
射頻功率
0~100W連續可調/0~150W連續可調
信號頻率
13.56MHz ±0.005%
反射功率
≤200W
功率穩定度
±0.1%
射頻接頭
N型頭
整機效率
≥75%
諧波分量
≤-50 dBc
冷卻方式
強制風冷
氣體測量
測量部件
浮子流量計
氣體通道
兩通道
A通道量程
10～100ml
B通道量程
16～160ml
真空獲取
真空測量
數字真空計（電阻規）
真空抽取
雙極旋片泵
電機轉速
50Hz時為：1440；60Hz時為：1720。
抽氣速率
50Hz時為：1.1L/s；60Hz時為：1.3L/s。
真空量程
1Pa～100000Pa
極限真空1
Pa
電機噪音
≤56dB
管道接口
進氣口：KF16;排氣口KF16.
連接管道
KF16真空波紋管
真空閥門
電磁閥
電機功率
400W
其它
供電電源
AC220V 50/60Hz
整機功率
1000W/1500W
使用溫度
-10℃--40℃
工作真空
≤40Pa
整機尺寸
540mm×650mm×600mm
整機重量
78kg
● 操作簡單靈活
● 具有完善的反射功率保護功能
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