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等離子表面處理儀一種緊湊的大氣離子表面處理噴射系統，主要由射頻發生器、離子束頭組成。噴射的離子束流能在較低的溫度和沒有真空條件下，迅速活化和清理材料表面。例如單晶片、光學元件、塑料等廣泛的材料。 為了獲得高質量的外延薄膜或者光學涂層，預先進行表面處理可以得到顯著的效果。
等離子表面處理儀產品特點：
1.高速表面處理，操作簡單**
2.多功能等離子體化學無需真空或腔室
3.手持或在線處理，成本低廉
4.重量輕，體積小巧
等離子表面處理儀技術參數：
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輸入功率 |
標準AC 208V - 240V, 50/60 Hz, < 1000W |
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輸出功率 |
20-23 kHz |
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等離子束頭 |
包括一個等離子束頭 圓頭：10-12mm |
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輸入氣體壓力和工作氣體 |
? zui低40 PSI ? 空氣，N2，Ar，He或任何混合氣體（無易燃易爆氣體） |
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等離子工作壓力 |
7- 10 PSI |
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? 溫度: < 42°C ? 濕度: ≤ 40℃RH ? 沒有易燃氣體 |
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整體尺寸 |
380 (W) ×210 (H) ×500 (D) mm |
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凈重 |
10 kg |
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保修和證書 |
? 一年有限終身支持 ? CE認證 |
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應用筆記 |
? 這種大氣等離子射流系統非常適合在涂層前清潔塑料，聚合物和氧化物基材表面。 ? 該裝置也可用于研究大氣壓CVD。 |
