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近源有機(jī)物蒸發(fā)鍍膜爐是一種雙加熱區(qū)快速熱處理爐，具有11"外徑的石英管。它是專(zhuān)為PVD或CSS(近距離升華)薄膜涂層3英寸直徑或2"×2"。近距離蒸發(fā)鍍膜爐采用兩組鹵素加熱器(頂部和底部)，zui大加熱速率20oC/s。兩個(gè)30段精密溫度控制器內(nèi)置，精度為+/-1oC。包括RS485端口和控制軟件，允許通過(guò)PC操作爐子和溫度曲線(xiàn)記錄。它是研究新一代太陽(yáng)能電池薄膜的主要工具，如CdTe、硫化物和鈣鈦礦太陽(yáng)能電池.
5英寸近距離蒸發(fā)鍍膜爐技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品名稱(chēng)
5英寸近距離蒸發(fā)鍍膜爐
產(chǎn)品型號(hào)
CY-EVH350JJL-5"-SS
樣品臺(tái)
外形尺寸
5"x5"
轉(zhuǎn)速
1-20RPM
可調(diào)溫度
≦950℃
熱蒸發(fā)源
20個(gè)紅外燈管作為加熱元件
真空腔體
腔體尺寸
350 mm Dia x 300 mm h
觀察窗口
100 mm
腔體材質(zhì)
304不銹鋼
開(kāi)啟方式
前開(kāi)門(mén)式
膜厚測(cè)量
晶體膜厚測(cè)量?jī)x（也可選膜厚控制儀）
真空系統(tǒng)
配有一套分子泵系統(tǒng)
系統(tǒng)真空
1×10-5Pa
流量計(jì)
兩路浮子流量計(jì) 16 -160 mL/m 500 - 5000 mL/m
工作溫度
每個(gè)加熱器的*高溫度：RT-950℃。
兩個(gè)加熱器之間的*大溫差：<= 300oC 取決于兩個(gè)加熱器之間的間距：間距 30mm *大。 溫差：315oC @ 僅加熱底部
溫控系統(tǒng)
兩個(gè)精密的溫控系統(tǒng)分別獨(dú)立控制上下兩個(gè)加熱區(qū)，可設(shè)置30段升降溫程序
每個(gè)溫控系統(tǒng)都帶有超溫和斷偶保護(hù)
水 冷
循環(huán)水冷機(jī)（KJ-5300型，16L/min)
控制系統(tǒng)
CYKY自研專(zhuān)業(yè)級(jí)控制器
其他參數(shù)
供電電源
208V 60HZ 三相
整機(jī)尺寸
600mm×650mm×1500mm
