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本產品為專為高真空設計的桌面型小型蒸發鍍膜儀，可提供*大100A的鍍膜電流，*大蒸發溫度可達1800℃，能夠滿足各種常見金屬的蒸鍍及部分非金屬蒸鍍。真空腔體采用不不銹鋼制作，出廠經過除氣處理，配合分子泵組可達到5x10-5Pa極限真空，能夠滿足絕大部分材料蒸發所需的真空環境。真空腔體采用上掀蓋開啟方式，便于取放樣，腔體上配置有帶擋板的適應觀察窗，用于觀察鍍膜過程，擋板則可以有效防止觀察窗被膜料污染。
小型蒸發鍍膜儀技術參數：
小型高真空熱蒸發鍍膜儀
產品型號
CY-EVZ180-I-H-SS
樣品臺
尺寸
φ60mm
轉速
1-20rpm可調
至蒸發源間距
60mm~100mm可調
蒸發系統
蒸發源
鎢絲籃
熱電偶
S型熱電偶
*高溫度
1700℃
真空腔體
腔體尺寸
φ170mm× 210mm
觀察窗口
石英觀察窗 φ80
開啟方式
上開啟式
腔體材料
不銹鋼
真空系統
產品型號
CY-GZK103-A
抽氣接口
KF40
分子泵
大阪60l/s
排氣接口
KF16
前極泵
旋片泵
真空測量
復合真空計
極限真空
1.0E-5Pa
抽氣速率
分子泵：60L/S 旋片泵：1.1L/S 綜合抽氣性能：20分鐘真空度可達： 1.0E-4Pa
其他
供電電壓
AC220V,50Hz
整機功率
1.5kw
整機尺寸
600mm× 300mm× 470mm
整機重量
40kg
