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- 熱蒸發(fā)鍍膜儀
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- 等離子鍍膜儀
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- 混料機(jī)設(shè)備
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- 環(huán)境模擬試驗(yàn)設(shè)備
- 實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)品配件
- 實(shí)驗(yàn)室鍍膜耗材
- 其他產(chǎn)品
有機(jī)無機(jī)蒸發(fā)鍍膜儀設(shè)備用途：
有機(jī)無機(jī)蒸發(fā)鍍膜儀用于生長薄膜太陽能電池，EL OEL分子有機(jī)電致發(fā)光器件薄膜的研究工作。廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所進(jìn)行薄膜材料的科研與小批量制備。
有機(jī)無機(jī)蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)參數(shù)：
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真空室 |
二個(gè)D型真空室，尺寸均約為?450×H750mm; 兩個(gè)真空室的真空系統(tǒng)配置、極限壓力、恢復(fù)真空時(shí)間、熱阻蒸發(fā)舟及電源、膜厚監(jiān)測儀、真空室照明裝置、烘烤裝置、樣品臺的配置與技術(shù)參數(shù)指標(biāo)相同； |
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真空系統(tǒng)配置 |
日本進(jìn)口低溫泵、無油渦旋干泵與電磁、復(fù)合數(shù)顯真空測量規(guī)與計(jì)、閥門等。 |
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極限壓力 |
≤2.0×10-5Pa |
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恢復(fù)真空時(shí)間 |
40分鐘可達(dá)到1×10-4Pa |
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電動(dòng)磁力耦合樣品傳遞裝置 |
真空室1 |
采用磁力耦合line motion傳遞裝置，采用步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，設(shè)有遠(yuǎn)程手控控制盒，可控制直線前進(jìn)后退。 |
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有機(jī)蒸發(fā)源及電源 |
真空室1 |
新型0EL升華型蒸發(fā)源9支，每支蒸料可裝10CC，室溫-800℃7支，室溫-1000℃2支；蒸發(fā)源電源4臺。 |
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真空室2 |
新型0EL升華型蒸發(fā)源6支，每支蒸料可裝10CC，室溫-800℃6支；蒸發(fā)源電源3臺。 |
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熱阻蒸發(fā)舟及電源 |
新型蒸發(fā)舟2組（熱阻蒸發(fā)舟）； 數(shù)字式熱阻蒸發(fā)電源1臺，帶有細(xì)調(diào)功能（0.1安培）；鍍鋁專用盒式蒸發(fā)舟：2個(gè)； 普通金屬蒸發(fā)舟10個(gè)；蒸發(fā)源擋板2套； |
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膜厚監(jiān)測儀 |
厚度分辨率 |
不平均：0.0133埃/測量；50個(gè)樣品平均：0.002埃/測量 |
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速率分辨率 |
不平均：0.0133埃/秒；50個(gè)樣品平均：0.02埃/秒 |
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精度 |
0.03HZ/測量，2ppm |
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速度 |
每秒測量十次 |
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真空室照明裝置 |
采用LED外照明方式.避免鍍膜污染照明燈 |
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烘烤裝置 |
在真空室外烘烤帶的烘烤方式 |
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樣品臺 |
樣品尺寸 |
可放置一塊100×100mm或者50×50mm基片 |
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運(yùn)動(dòng)方式 |
可電動(dòng)上下升降，可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速為0-30轉(zhuǎn)/分，轉(zhuǎn)速可調(diào) |
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