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近距離有機物蒸發鍍膜爐是一種雙加熱區快速熱處理爐，具有11"外徑的石英管。它是專為PVD或CSS(近距離升華)薄膜涂層3英寸直徑或2"×2"。近距離蒸發鍍膜爐采用兩組鹵素加熱器(頂部和底部)，zui大加熱速率20oC/s。兩個30段精密溫度控制器內置，精度為+/-1oC。包括RS485端口和控制軟件，允許通過PC操作爐子和溫度曲線記錄。它是研究新一代太陽能電池薄膜的主要工具，如CdTe、硫化物和鈣鈦礦太陽能電池。
近距離蒸發鍍膜爐產品特點：
1、為了減小熱輻射和達到快速冷卻的效果，加熱元件被嵌在水冷裝置上。
2、緊貼頂部加熱元件上裝有一氮化鋁基片（Φ76mm×0.5mm），使得樣品基片上的溫度更加均勻。
3、3″的石墨坩堝可放于底部加熱元件上，用于盛放蒸發料。
4、真空法蘭通過兩個硅膠O型圈進行密封，通過機械泵其腔內真空度可達10-2torr，通過分子泵真空度可達10-5torr。
5、兩個真空法蘭都可以通過手動操作進行上下移動。
6、一個數字式真空顯示計安裝在法蘭頂部，可以準確測量腔內真空度。
近距離蒸發鍍膜爐技術規格：
產品名稱
5英寸近距離蒸發鍍膜爐
產品型號
CY-EVH350JJL-5"-Q
樣品臺
外形尺寸
5"x5"
轉速
1-20RPM
可調溫度
≦950℃
熱蒸發源
20個紅外燈管作為加熱元件
真空腔體
腔體尺寸
350 mm Dia x 300 mm h
觀察窗口
100 mm
腔體材質
高純石英
開啟方式
前開門式
膜厚測量
晶體膜厚測量儀（也可選膜厚控制儀）
真空系統
配有一套分子泵系統
系統真空
1×10-5Pa
流量計
兩路浮子流量計 16 -160 mL/m 500 - 5000 mL/m
工作溫度
每個加熱器的*高溫度：RT-950℃。
兩個加熱器之間的*大溫差：<= 300oC 取決于兩個加熱器之間的間距：間距 30mm *大。 溫差：315oC @ 僅加熱底部
溫控系統
兩個精密的溫控系統分別獨立控制上下兩個加熱區，可設置30段升降溫程序 每個溫控系統都帶有超溫和斷偶保護
水 冷
循環水冷機（KJ-5300型，16L/min)
控制系統
CYKY自研專業級控制器
其他參數
供電電源
208V 60HZ 三相
整機尺寸
600mm×650mm×1500mm
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