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三源高真空蒸發鍍膜儀，設備采用前開門式真空腔體設計，腔體空間大，可拓展性強，能夠滿足多樣式大尺寸樣品的蒸發鍍膜。腔體內配有上置樣品臺，可根據用戶樣品樣式選取夾持或卡位式樣品安裝部件。樣品臺可旋轉、加熱，所有操作均通過觸控屏集成控制。設備的真空泵組為兩級式真空系統，由雙極旋片真空泵和渦輪分子泵組成，可為真空鍍膜試驗提供清潔無油的高真空的環境；真空系統內含有完善的氣動閥系統，用戶可通過觸控屏進行一鍵式操作實現抽取真空、不停機取放樣、完全停機等操作。
三源高真空蒸發鍍膜儀詳情介紹：
本設備的蒸發源共三組，采取鎢舟蒸發源，水冷式銅電極，可*大支持260A的大電流，加熱溫度*高可達1800℃，可實現多種難熔金屬的蒸鍍，三組獨立熱蒸發源，不會導致鍍材互相污染。本設備采用一體化設計，腔體和電控部分左右分置，實現了水電分離，有力的保證了用戶的**。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結合的設計，真空系統、樣品臺等輔助功能通過觸控屏一鍵操作，通電蒸發、膜厚控制等通過面板獨立操作，在盡可能方便用戶的同時規避了誤操作的可能。該設備設計完善性能優越，是實驗室高精度蒸發鍍膜試驗的必備之選。
三源高真空蒸發鍍膜儀應用領域：
金屬和介電膜
薄膜傳感器的制造
光學元件
納米與微電子
太陽能電池
三源高真空蒸發鍍膜儀技術參數：
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產品名稱 |
三源高真空蒸發鍍膜儀 |
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產品型號 |
CY-EVH300-III-HHH-SS | |
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樣品臺 |
外形尺寸 |
直徑φ150mm |
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可調溫度 |
≦500℃ |
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熱蒸發源 |
金屬蒸發源鎢舟3個 |
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蒸發電源 |
每個蒸發源配一組獨立電源；三個蒸發源可同時共蒸 |
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真空腔體 |
腔體尺寸 |
直徑φ300mm，高度400mm |
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觀察窗口 |
直徑φ100mm |
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腔體材質 |
304不銹鋼 |
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開啟方式 |
前開門式 |
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膜厚測量 |
晶體膜厚測量儀（也可選膜厚控制儀） |
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真空系統 |
前級泵 |
雙極旋片泵，氣體抽速1.1L/S |
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次級泵 |
渦輪分子泵,氣體抽速600L/S |
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真空測量 |
復合真空計(電離規+電阻規) |
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系統真空 |
5×10-4Pa |
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控制系統 |
CYKY自研專業級控制器 |
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其他參數 |
供電電源 |
AC380V,50Hz |
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整機尺寸 |
1000mm×800mm×1500mm |
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整機功率 |
7KW |
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整機重量 |
350kg |
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