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5英寸近距離蒸發鍍膜爐是一款快速熱處理爐,其爐腔體是-直徑為12英寸的石英管。 此款設備專[門實際針對于熱蒸發或于頂部和底部)
, *大升溫速率為20°C/s。采用PID方式進行溫度調節,可設置30段升降溫程序。儀器面板上安裝有RS485接口,可配用控制軟件將升溫程序和溫度曲線都導入到電腦中。對于探索新一代的薄膜太陽能電池,如CdTe.硫化物和鈣鈦礦結構太陽能電池,這是一款理想的實驗工具。
蒸發鍍膜爐技術參數：
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產品名稱 |
5英寸近距離蒸發鍍膜爐 |
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產品型號 |
CY-EVH350JJL-5"-Q |
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樣品臺 |
外形尺寸 |
5"x5" |
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轉速 |
1-20RPM |
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可調溫度 |
≦950℃ |
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熱蒸發源 |
20個紅外燈管作為加熱元件 |
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真空腔體 |
腔體尺寸 |
350 mm Dia x 300 mm h |
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觀察窗口 |
100 mm |
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腔體材質 |
高純石英 |
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開啟方式 |
前開門式 |
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膜厚測量 |
晶體膜厚測量儀（也可選膜厚控制儀） |
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真空系統 |
配有一套分子泵系統 |
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系統真空 |
1×10-5Pa |
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流量計 |
兩路浮子流量計 16 -160 mL/m 500 - 5000 mL/m |
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工作溫度 |
每個加熱器的*高溫度：RT-950℃。 兩個加熱器之間的*大溫差：<= 300oC 取決于兩個加熱器之間的間距：間距 30mm *大。 溫差：315oC @ 僅加熱底部 |
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溫控系統 |
兩個精密的溫控系統分別獨立控制上下兩個加熱區，可設置30段升降溫程序 每個溫控系統都帶有超溫和斷偶保護 |
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水 冷 |
循環水冷機（KJ-5300型，16L/min) |
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控制系統 |
CYKY自研專業級控制器 |
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其他參數 |
供電電源 |
208V 60HZ 三相 |
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整機尺寸 |
600mm×650mm×1500mm |
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