- 磁控濺射鍍膜儀
- 熱蒸發(fā)鍍膜儀
- 高溫熔煉爐
- 等離子鍍膜儀
- 可編程勻膠機
- 涂布機
- 等離子清洗機
- 放電等離子燒結(jié)爐
- 靜電紡絲
- 金剛石切割機
- 快速退火爐
- 晶體生長爐
- 真空管式爐
- 旋轉(zhuǎn)管式爐
- PECVD氣相沉積系統(tǒng)
- 熱解噴涂
- 提拉涂膜機
- 二合一鍍膜儀
- 多弧離子鍍膜儀
- 電子束，激光鍍膜儀
- CVD氣相沉積系統(tǒng)
- 立式管式爐
- 1200管式爐
- 高溫真空爐
- 氧化鋯燒結(jié)爐
- 高溫箱式爐
- 箱式氣氛爐
- 高溫高壓爐
- 石墨烯制備
- 區(qū)域提純爐
- 微波燒結(jié)爐
- 粉末壓片機
- 真空手套箱
- 真空熱壓機
- 培育鉆石
- 二硫化鉬制備
- 高性能真空泵
- 質(zhì)量流量計
- 真空法蘭
- 混料機設(shè)備
- UV光固機
- 注射泵
- 氣體分析儀
- 電池制備
- 超硬刀具焊接爐
- 環(huán)境模擬試驗設(shè)備
- 實驗室產(chǎn)品配件
- 實驗室鍍膜耗材
- 其他產(chǎn)品
本產(chǎn)品為二合一鍍膜儀，可用于電子產(chǎn)品、玻璃、陶瓷樣品、金屬等樣品的鍍膜。尤其適合實驗室SEM（掃描電鏡）的樣品制備。設(shè)備主要由石英真空室、等離子濺射靶，蒸發(fā)鍍膜裝置，放置樣品的樣品臺，真空泵機組、真空測量規(guī)管，進氣系統(tǒng)和控制系統(tǒng)組成。
設(shè)備主機采用觸摸顯示屏操作，溫控表檢測。其數(shù)字化參數(shù)界面和自動化操作方式為用戶提供了優(yōu)良的研發(fā)平臺。真空室采用上中下結(jié)構(gòu)，樣品臺與靶的距離靈活可調(diào)。
設(shè)備真空獲得系統(tǒng)采用上等雙極旋片泵。 具有體積小，噪音小，無油污污染等優(yōu)點。
真空腔體采用石英加工而成，呈現(xiàn)圓柱結(jié)構(gòu)，外形美觀，大方。主要密封法蘭采用 KF 系列高真空密封法蘭。真空腔體各接口均采用橡膠密封圈密封，真空性能優(yōu)良，能有效鍍膜質(zhì)量。
二合一鍍膜儀技術(shù)參數(shù)：
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產(chǎn)品型號 |
CY-EVS180G-A |
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安裝條件 |
1、使用環(huán)境溫度 25℃±15℃，濕度 55%Rh±10%Rh； 2、設(shè)備供電：AC220V，50Hz，必須有良好接地； 3、額定功率：1500w； 4、設(shè)備用氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣清洗，需客戶自備氬氣，純度 ≥99.99%； 5、擺放工作臺尺寸要求 600mm×600mm×700mm，承重 50kg 以上； 6、擺放位置要求通風(fēng)。 |
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技術(shù)參數(shù) |
1、 蒸發(fā)源數(shù)量：1鎢絲籃/鎢舟 2、 適用蒸發(fā)膜料：金銀銅等不易被氧化的金屬，碳繩； 3、 等離子濺射靶數(shù)量：1x2” 4、 適用靶材：金銀銅等比重大，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定的金屬；適用尺寸φ50mm x3mm 5、 蒸發(fā)源電壓：10V 6、 蒸發(fā)電流 0～100A 連續(xù)可調(diào) 7、 配 1 個鎢舟、1 個鎢絲籃； 8、 不銹鋼樣品臺,直徑為60mm；蒸發(fā)時使用樣品臺下表面及配套夾具，濺射時使用樣品臺上表面，直接將樣品放置在平面上。 9、 樣品臺距離蒸發(fā)源距離20~50mm可調(diào)。當(dāng)使用濺射功能時樣品臺應(yīng)和靶面距離30mm~50mm。 10、 真空腔體為石英腔體其直徑為180mm，高度為150mm； 11、 真空腔體抽氣接口為 KF25； 12、 進氣接口為 1/4 英寸雙卡套接頭，默認(rèn)配不銹鋼微調(diào)閥以調(diào)節(jié)進氣量； 13、 顯示屏為7英寸彩色觸摸屏； 14、 可調(diào)節(jié)蒸發(fā)電流、濺射電流，可設(shè)置蒸發(fā)**電流值、**真空值； 15、 **保護：過流、真空過低自動切斷電流； 16、 極限真空：1Pa(搭配雙級旋片泵)； 17、 真空測量為電阻規(guī)真空計，其量程為：1～105Pa |
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注意事項 |
1、對于蒸鍍對氧較敏感的材料，建議增配分子泵組。 2、為了達到較高的無氧環(huán)境，至少要用高純惰性氣體對真空腔體清洗 3 次。 |
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可選配件 |
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膜厚監(jiān)測儀 |
1、膜厚分辨率：0.0136?（鋁） 2、膜厚準(zhǔn)確度：±0.5%，取決于過程條件，特別是傳感器的位置， 材料應(yīng)力，溫度和密度 3、測量速度：100ms-1s/次，可設(shè)置測量范圍：500000?（鋁） 4、標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體：6MHz 5、適用晶片頻率：6MHz 適用晶片尺寸：Φ14mm 安裝法蘭：CF35 |
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其他配件 |
1、鎢舟、鎢絲籃； 2、CY-CZK103系列高性能分子泵組（含復(fù)合真空計，測量范圍10-5Pa~105Pa）； CY-GZK60系列小型分子泵組（含復(fù)合真空計，測量范圍10-5Pa~102Pa） VRD-4雙極旋片真空泵； 3、KF25真空波紋管；長度可選0.5m、1m、1.5m；KF25卡箍支架 4、膜厚儀晶振片； |
