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等離子濺射和蒸發二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發組件，不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜，也可以用蒸發的方式得到碳或者其他金屬單質的薄膜。儀器元件高度集成化，在同一個腔體內即實現了兩種鍍膜功能；本鍍膜儀采用高純石英腔體作真空腔體，鍍膜過程完全可見。儀器標配雙極旋片真空泵，能夠快速達到1.0E-1Pa的真空度，可滿足大多數蒸發鍍膜實驗和二極濺射實驗所需的真空環境。本儀器體積小，節省空間，能夠置于試驗臺上使用，一機多用，性價比突出，非常適合各大高校及研究機構選用。
小型二合一鍍膜儀適用范圍：
掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作，以及非導體材料試驗電極的制作等。
小型二合一鍍膜儀技術參數：
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小型二合一鍍膜儀 |
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樣品臺 |
尺寸 |
φ80mm |
至蒸發源間距 |
20mm~50mm可調 |
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直流濺射頭 |
數量 |
2”×1 |
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蒸發系統 |
蒸發源 |
鎢絲籃 |
*高溫度 |
1700℃ |
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熱電偶 |
S型熱電偶 |
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真空腔體 |
腔體尺寸 |
φ180mm×150mm |
觀察窗口 |
全向透明 |
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腔體材料 |
高純石英 |
開啟方式 |
頂蓋拆卸式 |
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真空系統 |
機械泵 |
旋片泵 |
抽氣接口 |
KF16 |
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真空測量 |
電阻規 |
排氣接口 |
KF16 |
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極限真空 |
1.0E-1Pa |
供電電源 |
AC;220V 50/60Hz |
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抽氣速率 |
旋片泵：1.1L/S |
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濺射電源配置 |
數量 |
直流電源×1 |
*大輸出功率 |
150w |
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其他 |
供電電壓 |
AC220V,50Hz |
整機尺寸 |
360mm×300mm×470mm |
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整機功率 |
1.5kw |
整機重量 |
20kg |
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