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1500℃單溫區3路質量流量計高真空CVD系統爐管采用高純氧化鋁制成，爐體采用一體式設計，獨特的設計能夠保證系統在1500℃運行穩定**，加熱元件采用高品質硅碳棒，能夠達到1500℃高溫，若客戶有需求可以定制硅鉬棒加熱元件以達到更高的1700℃高溫。
系統所配有的三路質量流量計，精度高可靠性強，可以準確混合1~3路氣體，操作面板采用數字顯示，直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯系技術人員定制任意數量的氣路。本系統還配有精密分子泵組，可以達到1.0E-3pa級別的真空度，較普通機械泵可以為用戶提供更純凈嚴苛的實驗環境。
適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。
技術參數：
真
空
管
式
爐
產品型號
CY-1500-60-300-Q
爐管材質
高純氧化鋁
爐管直徑
60mm(可選配50mm、80mm、100mm)
爐管長度
1000mm
爐膛長度
400mm
加熱區長
300mm
恒溫區長
150mm
工作溫度
≤1450℃
控溫精度
±1℃
控溫模式
30段或50段程序控溫
顯示模式
LCD
密封方式
304不銹鋼真空法蘭
法蘭接口
1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭
可抽真空
4.4E-3Pa
供電電源
AC:220V 50/60Hz
供
氣
系
統
產品型號
CY-3Z
氣體通道
3通道
測量部件
氣體質量流量計
測量量程
A通道：0～100SCCM H2氣
備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時需要特別注明。可根據客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。
B通道：0～300SCCM N2氣
C通道：0～500SCCM Ar氣
測量精度
±1.0%F.S
管道耐壓
3MPa
工作壓差
50～300KPa
連接管道
304不銹鋼
控制閥門
304不銹鋼針閥
接口規格
進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭
供電電源
AC:220V 50/60Hz
排
氣
系
統
產品型號
CY-GZK103-A
分子泵
CY-600
前極泵
旋片泵
抽氣速率
分子泵：600L/S
綜合抽氣性能：20分鐘真空度可達：1.0E-3Pa
旋片泵：1.1L/S
抽氣接口
KF40
排氣接口
KF16
真空測量
復合真空計：電阻規+電離規
極限真空
1.0E-5Pa
供電電源
AC:220V 50/60Hz
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