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1200℃三溫區三通道混氣CVD系統采用全彩高清觸控屏操作，簡單易上手，即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法，能夠極大的提高您的實驗效率。系統所配有的三路浮子流量計，可以較為準確的配制出實驗所需的混合氣體；另有一壓力表安裝在浮子流量計正面，可以監測氣體壓力及混合槽壓力。
適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。
1200℃三溫區三通道混氣CVD系統技術參數：
項目
明細
供電電壓
AC220V，50Hz
MAX功率
5KW
加熱溫區
220mm+440mm+220mm
工作溫度
1100℃ （1200℃＜1h）
控溫精度
±1℃
升溫速率
建議≤10℃/min
控溫方式
AI-PID 30段工藝曲線，可存儲多條
三溫區獨立控制，帶有過熱和斷偶保護
爐管材質
高純石英
爐管尺寸
φ60mm O.D×1300mm L
氣體通道
三通道質量流量計
氣體量程
A：100sccm B：300sccm C：500sccm
系統真空
5~10Pa（如需更高真空度可以選配其他的泵）
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