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1200℃單溫區三通道混氣CVD系統采用全彩高清觸控屏操作，簡單易上手，即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法，能夠極大的提高您的實驗效率。系統所配有的三路浮子流量計，可以混合1~3路氣體，較為準確的配制出實驗所需的混合氣體；另有一壓力表安裝在浮子流量計正面，可以監測氣體壓力及混合槽壓力。
適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。
1200℃單溫區三通道混氣CVD系統技術參數：
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項目 |
明細 |
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供電電壓 |
AC220V，50Hz |
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MAX功率 |
5KW |
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加熱溫區 |
455mm |
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工作溫度 |
1100℃ （1200℃＜1h） |
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控溫精度 |
±1℃ |
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升溫速率 |
建議≤10℃/min |
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控溫方式 |
AI-PID 30段工藝曲線，可存儲多條 三溫區獨立控制，帶有過熱和斷偶保護 |
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爐管材質 |
高純剛玉 |
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爐管尺寸 |
φ60mm O.D×1300mm L |
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氣體通道 |
三通道質量流量計 |
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氣體量程 |
A：100sccm B：300sccm C：500sccm |
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系統真空 |
5~10Pa（如需更高真空度可以選配其他的泵） |
