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1500℃單溫區3路浮子供氣低真空CVD系統管式爐采用高清真彩觸控屏操作，簡單易上手，即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法，能夠極大的提高您的實驗效率。
爐管采用高純氧化鋁制成，爐體采用一體式設計，獨特的設計能夠保證系統在1500℃運行穩定**，加熱元件采用高品質硅碳棒，能夠達到1500℃高溫，若客戶有需求可以定制硅鉬棒加熱元件以達到更高的1700℃高溫。
系統所配有的三路浮子流量計，可以混合1~3路氣體，較為準確的配制出實驗所需的混合氣體；另有一壓力表安裝在浮子流量計正面，可以監測氣體壓力及混合槽壓力。
技術參數：
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真 空 管 式 爐 |
產品型號 |
CY-CVD1500-60-300-3TH-Q |
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爐管材質 |
高純氧化鋁 |
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爐管直徑 |
60mm(可選配50mm、80mm、100mm) |
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爐管長度 |
1000mm |
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爐膛長度 |
400mm |
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加熱區長 |
300mm |
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恒溫區長 |
150mm |
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工作溫度 |
≤1450℃ |
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控溫精度 |
±1℃ |
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控溫模式 |
30段或50段程序控溫 |
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顯示模式 |
LCD |
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密封方式 |
304不銹鋼真空法蘭 |
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法蘭接口 |
1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 |
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可抽真空 |
4.4E-3Pa |
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供電電源 |
AC:220V 50/60Hz |
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供 氣 系 統 |
產品型號 |
CY-3F |
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氣體通道 |
3通道 |
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測量部件 |
氣體浮子流量計 |
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測量量程 |
A通道：0～100ml/min H2氣 |
備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時需要特別注明。可根據客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。
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B通道：16～160ml/min N2氣 |
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C通道：25～250ml/min Ar氣 |
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測量精度 |
±2.0% |
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管道耐壓 |
3MPa |
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工作壓差 |
50～300KPa |
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連接管道 |
304不銹鋼 |
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控制閥門 |
304不銹鋼針閥 |
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接口規格 |
進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 |
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排 氣 系 統 |
機械泵 |
旋片泵 |
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抽氣速率 |
1.1L/S |
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排氣接口 |
KF16 |
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真空測量 |
電阻規 |
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極限真空 |
1.0E-1Pa |
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供電電源 |
AC:220V 50/60Hz |
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抽氣接口 |
KF16 |
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