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凈化型勻膠機廣泛用于半導體硅片的勻膠鍍膜等，例如對大型晶圓、芯片、晶片等進行工藝制版時，可用此設備進行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠； 是集成電路及半導體器件生產過程中涂覆勻膠的專用設備 。該設備中涂膠部分含有兩個工位的勻膠臺，可分別獨立工作，也可兩臺同時工作
凈化型勻膠機技術參數：
產品名稱
凈化旋涂儀帶加熱臺
產品型號
CY-SPC4-SS-JH
勻膠機
電源電壓
AC220V, 50Hz
旋轉速度
0~9999rpm, adjustable
加速度
100~5000rpm/s
速度分辨率
1rpm
時間分辨率
1s
單步時間
3000s
基片尺寸
直徑≤4英寸（100mm）
腔體材質
亞克力
操作方式
按鍵+液晶屏
點膠方式
手動點膠，可選精密注射泵
勻膠曲線
每條曲線5段，共可存儲5條曲線
抽氣口
φ6mm快擰接口
真空吸盤
直徑10mm, 25mm, 55mm
整體尺寸
210mm×250mm×180mm
加熱板
加熱板尺寸
150*150mm
加熱溫度
RT~300C
溫度分辨率
0.1C
控溫精度
±1C
溫度均勻性
<±2C
電源
AC220V, 50Hz
凈化柜
尺寸
800*680*1700mm
內部布局
內部左側放4英寸亞克力腔體勻膠機，右側放加熱板
凈化等級
美國標準100%
照明
內置LED照明燈
排氣系統
真空泵
干式機械泵
抽氣速率
50L/min
電源
AC220V, 60Hz
