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大功率程控伺服勻膠機主要特點：
機身采用不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；
工業(yè)級別400瓦伺服電機系統(tǒng)，采用于trCYk設備相同設計和程序，使您的工藝更具有實際應用意義；
可達到50000rpm/s的旋轉(zhuǎn)加速度，確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和極高的可重復性。
大功率程控伺服勻膠機技術參數(shù)：
旋涂程序：可以至多存儲100組程序，每組100步，每個步驟可**到0.1秒
轉(zhuǎn)動速度：0-5000rpm（更高速可選），考慮重片或大片旋涂safety限定為5000rpm
旋涂加速度：0-10000rpm/sec（更高可選），考慮重片或大片旋涂safety限定為10000rpm/s
馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差：<±1rpm
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度和重復性：1rpm
工藝時間設定：0-3000 sec/step，時間設置精度：0.1sec
支持wafer尺寸25px-300mm（12''圓晶）
旋涂作業(yè)均勻性：<±3%在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量）
CY-HP-PC-S大功率程控伺服勻膠機優(yōu)點：
內(nèi)部緊湊設計，縮小了設備的尺寸。
7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。
Telon ®/polyethylene“密閉碗”設計可適合各種材料勻膠工藝。
標準配置轉(zhuǎn)速5000rpm，并可根據(jù)用戶需要進行定制。
采用工業(yè)級別伺服電機，電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內(nèi)部。
機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，永不生銹，便于清洗。
排風和抽氣系統(tǒng)位于載片臺之底部 （以利于排風效率和勻膠均一性）。
透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時完全隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。
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