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超聲波氣氛加熱勻膠機是一款直徑300mm、靈活的旋轉勻膠設備，可通過超聲波噴頭把膠液噴灑在基片上，進而通過高速旋轉使得膠液均勻涂覆在基片上。也可以單獨進行旋涂操作。腔體內布有加熱元件，可在勻膠后進行烤膠操作。產品帶有兩路浮子流量計控制的氣路，可將惰性氣體通入腔體內，在勻膠時保護膠液不收空氣中的氣體影響。 此款勻膠機適用于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝、制版的表面涂覆。可勻膠zui大圓晶尺寸為12英寸，轉速可達3000rpm，加速度可達2000rpm；具有轉速穩定，啟動迅速，操作方便等優點，并能保證勻膠厚度的一致性和均勻性，是一款性能優良的產品.
加熱勻膠機產品特征：
1. 采用直流無刷電機，單片機控制
2. 高清晰觸摸屏控制
3. 可進行單步多步勻膠操作，可存儲五種程序，每種程序可設置五步操作
4. 防堵膠設計
5. 鋁合金腔體，堅固耐用
6. 帶有超聲波，氣氛，加熱等多種輔助功能，為勻膠研究進行多種輔助
超聲波氣氛加熱勻膠機產品參數：
產品名稱
超聲波輔助氣氛勻膠機
產品型號
CY-SPC12T-SS-UL
勻膠機
圓晶尺寸
12英寸
旋轉速度
30~3000rpm可調
旋轉加速度
30~2000rpm/s可調
單次*長勻膠時間
3000s
勻膠腔體尺寸
φ390mm*90mm
電壓
220V
50Hz
功率
1.5KW
加熱溫度
0-100℃
質保時間
易損件除外，1年，終身技術支持
勻膠機真空吸盤
12寸 一個（標配）；6寸 一個（定制）
勻膠機定制純機械卡盤
12英寸 一個（額外定制）；6英寸
一個（額外定制）
無油真空泵
型號：AP-2000V
功率：0.55kw
*低真空度：-700mmHg；-92Kpa
*大空氣流量：200L/min；12M3/h
重量：10kg
超聲波系統
霧化頭材質
鈦合金
頻率
50kHz
功率
30W
流量
0.55mL/s
微粒直徑
25um
霧化頭類型
錐型
霧化頭重量
0.3kg
超聲波電源尺寸
315*312*135mm
超聲波電源重量
5kg
注射泵
流量范圍
0.001uL/min-43.349mL/min
掉電記憶工能
保存設置參數，重新上電后，無需設置
適用進樣器規格
10uL-1000uL
適用注射器規格
1mL-60mL
加熱溫度
0-100℃
線速度范圍
5um/min-65um/min
線速度調節分辨率
5um/min
*大行程
140mm
行程分辨率
0.156um
額定線性推力
＞90N
流量計
控制氣體種類
2種
氣體流速
16-160mL/min
