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適合的應用:
化學氣相沉積法制備高品質單晶鉆石
化學氣相沉積法制備高品質多晶鉆石自支撐厚膜
化學氣相沉積法制備高品質多晶鉆石薄膜
化學氣相沉積法制備石墨烯、碳納米管、富勒烯和鉆石膜等各種碳納米薄膜
產(chǎn)品特點：
本產(chǎn)品為不銹鋼腔體式6kw微波等離子體設備，功率密度高；
水冷式基片臺和水冷式金屬反映腔，保證系統(tǒng)能長時間穩(wěn)定工作；
基片溫度以微波等離子體自加熱方式達到；
真空測量儀表采用全量程真空計，可**測量本底真空和工作氣體壓強；
真空泵及閥門采用渦輪分子泵(極限真空為1×10-5Pa)和旋片式機械真空泵(極限真空為1Pa)，系統(tǒng)可自動控制沉積氣壓；
配備冷卻水循環(huán)系統(tǒng)，確保裝置高功率下可長時間**穩(wěn)定運行；
系統(tǒng)帶15寸觸摸屏，PLC自動控制，可設置溫度或氣壓恒定，可保存復用多達20套工藝文件；
全自動工藝控制模塊，可以穩(wěn)定可靠地制備高品質鉆石薄膜和晶體
技術指標與特性：
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項目名稱 |
規(guī)格 |
配置 |
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主控單元 |
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PLC 自動程控 |
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微波源 |
6kw 2.45Ghz |
微波電源 |
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微波發(fā)生器 |
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波導 |
6kw |
三銷釘 |
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模式轉換器 |
6kw |
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諧振腔體 |
6kw |
柱形水冷腔體 |
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基臺 |
φ70mm |
電動升降 |
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鉆石生長基本參數(shù) |
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7x7mm 37片 8x8mm 29片 9x9mm 21片 10x10mm 13片 |
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MFC（質子流量計） |
5路 |
Ch4 0-500sccm H2 0-500sccm N2 0-500sccm Ar 0-500sccm O2 0-500sccm |
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測溫元件 |
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高精度紅外測溫儀 |
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真空測量 |
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高精度真空計 |
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分子泵 |
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默認無/可選 |
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氫氣純化 |
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9N級 |
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水循環(huán) |
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3P水冷機 |
