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產(chǎn)品分類

產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：PE-HPCVD等離子增強物理化學(xué)氣相沉積
產(chǎn)品型號：CY-PE-HPCVD-50R-1100-Q
產(chǎn)品廠商：成越科儀
產(chǎn)品文檔：

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簡單介紹：

PE-HPCVD等離子增強物理化學(xué)氣相沉積由一臺雙溫區(qū)管式爐，一套鎢絲蒸發(fā)源，一套等離子發(fā)生裝置以及一套質(zhì)量流量計組成。PE-HPCVD等離子增強物理化學(xué)氣相沉積適用于無機復(fù)合粉末的熱處理及粉末表面的均勻包覆。

詳情介紹：

PE-HPCVD等離子增強混合物理化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

本產(chǎn)品是一款1200℃等離子增強混合物理化學(xué)氣相沉積（PE-HPCVD)雙溫區(qū)旋轉(zhuǎn)管式爐系統(tǒng)。該設(shè)備包括一臺雙溫區(qū)管式爐，一套鎢絲蒸發(fā)源，一套等離子發(fā)生裝置以及一套質(zhì)量流量計系統(tǒng)。其工作原理是通過蒸發(fā)源將反應(yīng)物在進(jìn)氣端蒸發(fā)后通過氣流載入管式爐溫區(qū)內(nèi)進(jìn)行CVD反應(yīng)，同時通過等離子增強促進(jìn)反應(yīng)的發(fā)生，適用于無機復(fù)合粉末的熱處理及粉末表面的均勻包覆,如制備鋰離子電池陰極粉末的導(dǎo)電涂層等。

雙溫區(qū)管式爐	產(chǎn)品型號	CY-PE-HPCVD-50R-1100-Q
	爐管材質(zhì)	高純石英
	爐管直徑	50mm
	爐管長度	1200mm
	爐膛長度	440mm
	加熱區(qū)長	200mm+200mm
	工作溫度	0～1100℃
	控溫精度	±1℃
	控溫模式	30段或50段程序控溫
	顯示模式	高清全彩LCD觸控屏
	密封方式	304不銹鋼真空法蘭
	供電電源	AC:220V 50/60Hz 2.5kW
RF輸出系統(tǒng)	功率范圍	0~300W可調(diào)
	工作頻率	13.56MHz+0.005%
	工作模式	連續(xù)輸出
	匹配阻抗模式	能夠匹配，起輝均勻布滿爐管
	功率穩(wěn)定度	≤2W
	正常工作反射功率	≤3W
	放大反射功率	≤70W
	諧波分量	≤-50dBc
	整機效率	≥70%
	功率因素	≥90%
	供電電壓/頻率	單相交流（187V~153V）頻率50/60Hz
	控制模式	內(nèi)控/PLC 模擬量/RS232/485通訊
	電源保護(hù)設(shè)置	DC過流保護(hù)，功放過溫保護(hù)，反射功率保護(hù)
	冷卻方式	強制風(fēng)冷
	起輝長度	在Ar下射頻電源與線圈配合起輝輝光能布滿爐管
蒸發(fā)舟	工作溫度	1300℃
	蒸發(fā)源	鎢絲籃,可選配錐形氧化鋁坩堝
	熱電偶	S型熱電偶
	工作電流	≤30A
	*大功率	500W
供氣系統(tǒng)	流量計	四路質(zhì)子流量計
	流量范圍	MFC1量程：0~200sccm MFC2量程：0~200sccm MFC3量程：0~500sccm MFC4量程：0~500sccm 分別對應(yīng)氣體H2、 CH4、 N2、 Ar、
	測量精度	±1.5%F.S
	重復(fù)精度	±0.2%FS
	線性精度	±1%F.S.
	響應(yīng)時間	≤4s
	工作壓力	-0.15Mpa~0.15Mpa
	流量控制	液晶觸摸屏控制，數(shù)字顯示，每路氣體含有針閥單獨控制
	進(jìn)氣接口	可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管
	出氣接口	可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管
	連接方式	雙卡套接頭
	工作溫度	5~45℃
	氣體預(yù)混	配氣體預(yù)混裝置
真空系統(tǒng)	產(chǎn)品型號	CY-GZK103-A
	分子泵	渦輪分子泵
	前極泵	雙極旋片泵
	抽氣速率	分子泵：600L/S	綜合抽氣性能：30分鐘真空度可達(dá)：5×10E-3Pa
		旋片泵：1.1L/S
	極限真空	5×10E-4Pa
	抽氣接口	KF40
	排氣接口	KF16
	真空測量	復(fù)合真空計