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加熱型旋轉涂覆儀采用全鋁合金腔體，美觀堅固。儀器采用先進的精密電機，轉速能達到10000轉/分，有效的保障了成膜的均勻性。除了基本的旋涂功能，本品還配有加熱組件，可以加熱到200℃，由智能溫控表控溫，溫度測定準確，升溫過程完全可控。另外本儀器采用觸控屏控制，可以預設勻膠曲線，大大簡化了使用過程降低了學習成本，十分適合實驗室選購。
加熱型旋轉涂覆儀適用范圍：
加熱型旋轉涂覆儀可以將液態或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜，主要應用于光刻膠旋涂、生物培養基制作、溶膠凝膠法制作高分子薄膜等領域。
加熱型旋轉涂覆儀技術參數：
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項目 |
明細 |
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旋涂儀 |
供電電壓 |
AC220V，50Hz |
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轉速 |
0~10000rpm |
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加速度 |
100~5000rpm/s |
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轉速分辨率 |
1rpm |
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單步時間 |
3000s |
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基片尺寸 |
直徑≤8英寸（200mm） |
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腔體材質 |
鋁合金 |
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加熱溫度 |
≤200℃ |
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控溫方式 |
AIP智能控溫 |
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操作方式 |
7寸高清LCD觸控屏 |
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滴膠方式 |
手動滴膠，可選購精密注射泵 |
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勻膠曲線 |
每條曲線5段，共可儲存5條曲線 |
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抽氣接口 |
φ6mm 快擰接口 |
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整機尺寸 |
290mm×365mm×300mm |
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整機重量 |
12kg |
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排氣系統 |
真空泵 |
干式機械泵 |
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抽氣速率 |
50L/min |
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供電電源 |
AC220V 50/60Hz |
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