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本型號勻膠機采用全鋁合金腔體，外觀美觀堅固；腔體上蓋則采用360°可視的有機玻璃設計，便于客戶使用過程中監測勻膠情況。儀器采用先進的精密電機，轉速可高達到10000轉/分，有效的保障了成膜的均勻性。另外本儀器采用觸控屏控制，可以預設勻膠曲線，大大簡化了使用過程降低了學習成本，十分適合實驗室選購。
旋轉涂覆儀適用范圍：
勻膠機可以將液態或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜，主要應用于光刻膠旋涂、生物培養基制作、溶膠凝膠法制作高分子薄膜等領域。
旋轉涂覆儀技術參數：
項目
明細
旋涂儀
供電電壓
AC220V，50Hz
轉速
0~10000rpm
加速度
100~5000rpm/s
轉速分辨率
1rpm
單步時間
3000s
基片尺寸
直徑≤8英寸（200mm）
腔體材質
鋁合金
操作方式
7寸高清LCD觸控屏
滴膠方式
手動滴膠，可選購精密注射泵
勻膠曲線
每條曲線5段，共可儲存5條曲線
抽氣接口
φ6mm 快擰接口
整機尺寸
290mm × 365mm × 260mm
整機重量
10kg
排氣系統
真空泵
干式機械泵
抽氣速率
50L/min
供電電源
AC220V 50/60Hz
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