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○ 產(chǎn)品介紹
CY-O1700-Φ100-600-V-T硫化爐是一款流化床立式CVD系統(tǒng)，專門(mén)針對(duì)粉末實(shí)驗(yàn)，爐管為高純剛玉管，爐管內(nèi)部嵌有一個(gè)微孔陶瓷板，粉末可以放在微孔陶瓷板式，氣體從爐管下端通入，通過(guò)微孔陶瓷板是樣品粉末懸浮在加熱區(qū)域，進(jìn)行實(shí)驗(yàn)。
○ 適用范圍
專門(mén)針對(duì)粉末實(shí)驗(yàn)
○ 技術(shù)參數(shù)
加熱速率
0~ 20℃ /min, 建議 10℃/ min
熱電偶類型
B型熱電偶
爐管尺寸和材料
1）爐子包含一根剛玉管，帶微孔陶瓷板，并有足夠的空間來(lái)進(jìn)行粉末實(shí)驗(yàn)
2）尺寸：外徑110mm，內(nèi)徑100mm,長(zhǎng)度1000mm
密封法蘭
1)底部法蘭：水冷設(shè)計(jì)，搭配100mm爐管使用，帶有1/4英寸的氣體接口
2）上部法蘭：水冷設(shè)計(jì)，搭配100mm爐管使用，帶有進(jìn)氣和出氣接口
加熱溫區(qū)
單溫區(qū)600mm長(zhǎng)
恒溫區(qū)
300mm長(zhǎng)，恒溫區(qū)內(nèi)溫差±2℃
溫度控制
1）PID 全自動(dòng)控制加熱速率，冷卻速率以及保溫時(shí)間
2）PID 控制超溫保護(hù)和短偶保護(hù)
3）超溫保護(hù)和報(bào)警功能使該設(shè)備可在無(wú)人看管的情況下運(yùn)行
4）溫度精度在±1℃（就是顯示的和實(shí)際溫度差）
加熱元件
硅鉬棒
氣體接口
上下法蘭均設(shè)置有用來(lái)連接氣體的1/4英寸大小的氣體接口
設(shè)備尺寸
800mm×800mm×1000mm ( W x L x H)
凈重量
120Kg左右
質(zhì)保時(shí)間
一年
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