成越科學儀器分子泵日常維護與維修

日期：2026-01-24 05:19

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摘要：更換潤滑油方法:泵體上下軸承處，各有一個注油孔和個出油孔，將兩個注油孔(位置偏上)和兩個出油孔(位置偏下)螺打卸下，水平擱置泵，使注油孔朝上,用注射器將大約2x6m1的油分別主入兩個油孔內，從另一側流出的油不得再用，將4個M5油孔專用螺釘擰好，甩吸油紙吸凈泵殼上殘余的油，即完成潤滑油更換。

1更換潤滑油

2.1渦輪分子泵

新泵初次運行1000小時后，即應更換潤滑油；

通常，經過初次換油后，正常運行的泵一年換油一次；

更換潤滑油方法:

泵體上下軸承處，各有一個注油孔和個出油孔，將兩個注油孔(位置偏上)和兩個出油孔(位置偏下)螺打卸下，水平擱置泵，使注油孔朝上,用注射器將大約2x6m1的油分別主入兩個油孔內，從另一側流出的油不得再用，將4個M5油孔專用螺釘擰好，甩吸油紙吸凈泵殼上殘余的油，即完成潤滑油更換。

警告:

安裝油孔爆釘時，注意螺釘上的黑色O形密封圈應擰緊、壓實、避免漏氣。

2.2口徑大于等于160的泵

新泵初次運行1000小時后，即應更換潤滑油;

常規運行中，分子泵一年內運行時間少于4000小時的，一年更換一次；一年內運行時間多于 4000小時的，每運行 4000小時必須換油一次。

如果泵經常烘拷成大負載工作或勵儒預，觀察到潤滑油漫濁或明顯變色.則需立即更換潤滑油。

更換潤滑油的方法:

1）松開泵底部緊固由池的固定螺釘，取下油池, 倒出油池內的廢油；

2）使用中性洗滌劑刷洗油池，注意要將雜質和污物清理干凈，然后擦干(充分療干，不能留有水珠) ;

3）重新注油方法與新泵注油方法相同。

警告:

更換下來廢棄的潤滑油按當地法律法規處理。

脂潤滑型分子泵終生不需要更換潤滑脂，如果抽承出現問題只能返廠維修！

3、清洗泵

如果排除真空系統漏氣或真空控體虧染嚴重等原因.在對泵長時間烘烤后仍不能灰復其真空性能，則斷定泵已被污染，必須對泵進行清洗。

分子泵只能由泰諾或泰諾指定的維修中心專業人員拆泵和清流。

4、軸承更換

合格的分子泵出廠前都經過專門儀器的整機動平衡校驗.更換軸承后需要重新校動平衡，因上只能由泰諾公司或泰諾指定的維修

中心來完成，嚴禁用戶未經授權私自拆泵。

警告:

更換下來的報廢器件以及廢棄清洗液按當地法律法規處理，

5、從真空系統上拆泵

當泵出現故障而必須以系統上將泵拆下來時，應:

確定泵處在停機狀態，內外氣壓平衡 ;

如果真抽除的是腐蝕性氣體，確認真空腔，泵體內、前級管道內屬性性氣體已被充分沖洗干凈，泵內沉積物同樣對人體有害，必要時，拆卸人員應戴防毒面具、戴手套。泵卸下后，應盡快除去沉積物，以防上沉起物與潮濕空氣反應生成揮發物或對泵有腐蝕的酸、堿等。

泵卸下后，應立即用封閉的塑料袋包裝起來。

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