成越科儀高真空鍍膜儀操作流程

日期：2025-12-11 09:10

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摘要：高真空鍍膜儀操作流程：1.開啟循環水，并檢查循環情況和是否漏水。2.開啟電源總閥。3.打開真空室的手動放氣閥放氣，放氣結束后關閉手動放氣閥。接著打開真空室蓋。4.放置蒸鍍金屬和樣品，關閉真空室蓋。5.開啟真空計，開啟機械泵，然后打開前級閥。6.待真空度小于10Pa后開啟分子泵。待真空度小于7*10-4Pa后開始蒸鍍（蒸鍍期間不要關閉機械泵、前級閥和分子泵）。

高真空鍍膜儀操作流程：

1.開啟循環水，并檢查循環情況和是否漏水。

2.開啟電源總閥。

3.打開真空室的手動放氣閥放氣，放氣結束后關閉手動放氣閥。接著打開真空室蓋。

4.放置蒸鍍金屬和樣品，關閉真空室蓋。

5.開啟真空計，開啟機械泵，然后打開前級閥。

6.待真空度小于10Pa后開啟分子泵。待真空度小于7*10-4Pa后開始蒸鍍（蒸鍍期間不要關閉機械泵、前級閥和分子泵）。

7.蒸鍍：
（1）開啟并設置膜厚控制系統。
（2）開啟樣品架旋轉按鈕（5%-10%），并打開樣品托擋板。
（3）開啟蒸鍍電極電源并檢查腔體內擋板情況
（4）膜厚儀示數歸零。
（5）調節電流值（銀38A；金50A）開始蒸鍍。

（6）當膜厚達到要求值后先關擋板后，再將電流調節閥歸零，并蓋住樣品托。

8.關閉設備
（1）關閉真空計！！！！
（2）關閉分子泵，當分子泵示數為零時，關閉前級閥，*后關閉機械泵。
（3）打開真空室手動放氣閥，放氣結束后再關閉放氣閥。
（4）取出樣品（此時可以放置下一次要蒸的樣品）。
（5）開啟真空計，打開機械泵，前級閥，將真空室抽真空至10Pa以下。
（6）關閉真空計，關閉前級閥和機械泵。

（7）關閉設備總電源和墻上總電源以及循環水系統。

若出現異常，請先關閉分子泵！！！緊急情況，請關閉總電源！！！！

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