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該滑道爐由爐體和軌道支架部分組成，同時可搭配進氣系統和真空裝置組成CVD系統。管式爐默認為600mm長的單溫區設計，可以形成較長的恒溫區域，也可定制為雙溫區或者三溫區爐膛，以適應不同的試驗需求。電爐安裝在滑軌支架上，可以實現快速升降溫，提升實驗效率。爐管可配熱電偶測溫，可以準確控制反應條件。電爐采用智能溫控表控溫，操作簡便直觀。
滑道管式爐應用領域：
本產品主要應用于需要快速升降溫的實驗，尤其適合快速熱處理，也可以與其他設備共同組成CVD系統。
滑道管式爐技術參數：
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單溫區管式爐 |
產品型號 |
CY-O1200-50I-T-L600 |
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爐膛長度 |
820mm |
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加熱區長 |
600mm |
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恒溫區長 |
300mm |
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工作溫度 |
0～1100℃ |
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控溫精度 |
±1℃ |
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控溫模式 |
30段程序控溫 |
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顯示模式 |
LED高亮數碼管 |
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供電電源 |
AC:220V 50/60Hz |
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爐管 |
爐管材質 |
高純石英 |
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爐管長度 |
φ50mm x 2000mm |
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密封方式 |
304不銹鋼真空水冷法蘭 |
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法蘭接口 |
1/4英寸卡套接頭 |
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抽氣系統 |
機械泵 |
VRD-4 |
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抽氣速率 |
4L/S |
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排氣接口 |
KF16 |
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真空測量 |
電阻規 |
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極限真空 |
1×10E-1Pa |
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供電電源 |
AC:220V 50/60Hz |
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抽氣接口 |
KF16 |
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軌道 |
軌道長度 |
2m 能實現爐子至少一個爐位長度的滑動，實現快速升降溫 |
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